商品の特徴 | ●AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です●シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等●100~200℃における許容差(℃):±5.0 | ||
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メーカー名 | 安立計器 | ブランド名 | 安立計器 |
ウェーハサイズ(インチ) | 5 | コードの長さ(m) | 1 |
センサ点数 | 5 | プラグ形状 | ミニプラグ0~500 |
使用温度範囲(℃) | 0~500 | 熱電対の種類 | Kタイプ |
絶縁被覆材質 | 石英管 | ||
備考 | 【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。●検査成績書は標準付属です。 |
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